65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導(dǎo)譜。由于其平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運動，粒子數(shù)和粒子生成水平極低，這也是其主要特點。

該閥門專為嚴苛工藝設(shè)計，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用，在這些應(yīng)用中，當(dāng)初始可控流導(dǎo)較低時，需要高度可控的流導(dǎo)譜。

65.5 高真空控制擺閥的 DN 為 250 mm (10")，可將最小流導(dǎo)控制為僅有 2 ls-1。由于 32 位驅(qū)動器控制器的數(shù)據(jù)處理能力出色，可將流導(dǎo)增加控制到非常精細的程度。此外，還可提供更快的驅(qū)動，因為相較于等效的 16 位控制器，傳感器和控制命令的處理速度更快。控制器上的各種標準端口連接器可通過個人計算機或連接到過程控制單元輕松訪問。

鐘擺閥板機構(gòu)采用極其堅固的設(shè)計，確保其能夠抵抗任 何工藝副產(chǎn)品。為減少密封磨損并避免粒子產(chǎn)生及生成，打開和關(guān)閉運動是分開的。通過遠離閥座的垂直運動實 現(xiàn)第一級流導(dǎo)，然后通過在水平運動中移動鐘擺閥板來 增加流導(dǎo)。由于閥板運動可控性佳，預(yù)設(shè)的運動順序可根據(jù)工藝要求進行精確調(diào)整。為確保密封關(guān)閉，通過的特殊壓桿將閥板壓在閥座上。這樣可確保閥板所有 區(qū)域的密封壓力均勻分布。

憑借緊湊的設(shè)計和直接安裝選項以及各種其他設(shè)計選項，65.5 系列易于集成到各種真空流程中。

65.5 高真空控制擺閥采用鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁，帶有 ISO-F 和 JIS 標準法蘭連接器。可集成客戶指定法蘭，也可作為加熱器，用于工作溫度高達 120℃ 的閥門。

1. 閥門
2. 驅(qū)動器軸
3. 雙軸驅(qū)動器
4. 驅(qū)動器饋通密封
5. 閘封